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4. Waferhandlingsystem zur Dickenbestimmung von Wafern

Auftraggeber:
Freiberger Compound Materials GmbH
Ansprechpartner: Jens Wunderwald - Tel.03731 / 280290
Leistung:
Lieferung des Komplettsystems
Eigenleistung:
  • Gesamtprojektleitung
  • Konzeptentwicklung gemeinsam mit Kunde
  • Elektroprojektierung
  • Softwareentwicklung einschl. Anbindung an kundenseitiges System
  • Inbetriebnahme bis zur Produkteinführung
Vergabe:
  • Mechanik-Konstruktion,-Fertigung und -Montage
  • Verdrahtung
Know-How:
  • Waferhandling
  • Dickenmessung >1µm
  • Fertigung für Reinraumklasse 100
  • Programmierung in C# (Microsoft .NET-Technologie)
Bilder:
Handlingsystem 3
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