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2. Kristallzüchtungsanlagen für Galliumarsenid-Einkristalle

Auftraggeber:
TU Bergakademie Freiberg
Institut für Nichteisenmetalle und Reinsstoffe

Ansprechpartner: Dr. Olf Pätzold - Tel.03731 / 392767

Leistung:
vollständig eigenentwickelte Automatisierungslösung
(Planung, Gerätekauf, Installation, Softwareentwicklung, Inbetriebnahme, Schulung des Bedienpersonals, Instandhaltung)

Einsatz:
  • 21-bit AD-Wandler (Keithley) zur Temperaturmessung mit Thermoelementen, vernetzt über RS485-Bus
  • Gleichspannungsstellglieder (Statron) für 8 Zonen (je 1000 W), digital gesteuert über RS485-Bus
  • PC als Leitrechner, Regler, Bedienrechner und Datenspeicher
Highlights:
  • Temperaturregelung (besser als 0,1K relativ)
  • Temperaturmessung mit Sicherheitsthermoelementen, automatische Sinnfälligkeitsprüfung der Messwerte
  • Mehrgrößenregelung
  • Visualisierung / Bedienoberfläche mit umfangreichen komfortablen Archivierungs- und Protokollfunktionen (jeder einzelne Versuch lässt sich auch nach Jahren bezüglich des verwendeten Rezepte, evtl. aufgetretener Fehler, Regelabweichungen etc. nachvollziehen)
Bilder:
Handlingsystem 2
Handlingsystem 3
Handlingsystem 4
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